在工業(yè)污水、生活污水及醫(yī)院污水上的應(yīng)用工業(yè)上幾乎都用電暈放電法來制取臭氧，這樣生產(chǎn)出來的臭氧適用于初步處理含烷基苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物的污水，還適用于處理含Fe2+、Mn2+、氰、酚、親水性染料、細菌等污水。

由于水資源愈來愈緊張，工業(yè)及城市生活污水處理后經(jīng)常回用，這就需要提高污水的處理標準。利用中水回用水處理系統(tǒng)臭氧發(fā)生器對水進行深度處理，可除掉水中各種雜質(zhì)，從而達到回用標準。臭氧處理醫(yī)院污水可消毒殺滅細菌。若采用臭氧處理醫(yī)院污水，可截斷傳染源，免除后顧之憂。并且臭氧在幾分鐘之內(nèi)可以將病毒全部殺死，比當量氯氣快200～3000倍。城市污水處理系統(tǒng)工程也已經(jīng)開始使用大型臭氧發(fā)生器進行滅菌消毒除味脫色處理。在循環(huán)冷卻水和鍋爐給水中的應(yīng)用在循環(huán)冷卻水中，需對水進行深度處理，臭氧可以除去形成污垢的雜質(zhì)，防止阻塞管道。

在飲用水的應(yīng)用上采用中水回用水處理系統(tǒng)臭氧發(fā)生器消毒滅菌是非常環(huán)保健康的，沒有二次污染物及殘留物的產(chǎn)生，對提高飲用水的質(zhì)量非常有效。地表水中含有各種有機、無機以及各種細菌、病毒。地表水用臭氧進行深度處理后，基本上可以達到比較好飲用水的標準。有實驗表明水中臭氧濃度在0.4ppm時，只需一分鐘就可以將細菌和病毒全部殺死，它殺病毒比細菌消滅的速度更快。

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